コンパクトな装置でありながら拡大率1000倍を達成したＸ線装置
1.コンパクトな小型Ｘ線装置でありながら、幾何学倍率1000倍を達成
2.アイビット独自の『Ｘ線ステレオ方式』で裏面情報キャンセル
3.フラットパネルが60°傾斜して観察可能、斜め観察でも倍率が下がらない
4.斜めからの観察には観察位置を自動追従（カメラ傾斜してもポイントがずれない）
各種測定機能付き
5.オプションで検査機能追加可能
6.ターゲット～試料0.5mm、ターゲット～Ｘ線カメラ500mm：500/0.5＝1000、幾何学倍率1000倍を達成
検査項目
実装基板のBGA等のはんだ部の検査
LEDのフリップチップ実装のはんだ部の検査
パワーデバイス（IGBT）の2層はんだ部のボイド検査
BGAのクラック観察
BGAのはんだ未接続部の観察
ICのワイヤーボンディングの観察
LGAの接合不良
プリント配線板の不良
実装基板のスルーホールＸ線観察
スルーホールのＸ線観察
パワーデバイス検査用Ｘ線装置
BGA検査・実装基板検査
仕様
Ｘ線管種類
マイクロフォーカス密閉型源（密閉型）
Ｘ線ターゲット位置
透過型ターゲット（開放管と同じ方式）
Ｘ線管電圧、管電流
30～90kV、0～60μA
Ｘ線管焦点径
5μｍ
ターゲット回転機構
500h毎にターゲット回転、メッセージ出力
検査トレイサイズ
330×250mm
X-Y軸ストローク
X軸：330mm，Y軸：250mm
Z1軸ストローク
Z1（Ｘ線カメラ上下）：150～500mm
Z2軸ストローク
Z2（Ｘ線管上下）：0～140mm
Q軸ストローク
Q軸（Ｘ線カメラ傾斜）：0～60°
幾何学倍率
幾何学倍率：1000倍
Ｘ線源-サンプル距離= 0.5mmX
Ｘ線現-受光部距離＝500mm、500/0.5=1000倍モニタ表示倍率 ※）他社密閉管の表示倍率と 同等に記述した場合
モニタ表示倍率：6000倍 Ｘ線受光部センサ寸法=50×50mm 24インチモニタ表示エリア寸法= 300×300mm 画像表示寸法/Ｘ線受光部= 300 / 50 =6倍 幾何学倍率×表示拡大率= 1000×6= 6000倍
Ｘ線画像分解能
130万画素、1180×1080pixel,14bit（16,384階調）
CCDｶﾒﾗ部種類
カラーCCDカメラ（ワーク撮影用）
表示ディスプレイ
24インチLCD
エアー供給
ー
電源
単相AC200V,1.5KVA
装置寸法
1.3（W）×1.1（D）×1.45（H）ｍ
装置重量
900kg
